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ASML, 1nm 칩 제조용 EUV 리소그래피 기계 설계를 완료앱에서 작성

ㅇㅇ(39.7) 2020.12.03 12:40:31
조회 48 추천 0 댓글 0
														

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현재 TSMC 삼성의 7nm 5nm 제조에 NA=0.33 EUV 노광 장비가 도입되었다고 하는데, 2nm 이후에는 고해상도 노광 장비인 NA=0.55 필요합니다. 다행히도 ASML 0.55NA 노광 장비 ( : NXE : 5000 시리즈) 기본 설계를 완료했으며 2022년에 상용화될 예정입니다.

위에서 언급한 크기 증가가 광학 장치의 증가로 인해 발생한 이유는 클린 지수가 한도에 도달했기 때문입니다.

현재 판매되고 있는 자외선 노광기 2대는 TWINSCAN NXE : 3400B, TWINSCAN NXE : 3400C입니다. 3600D 내년 중반에 출하될 예정이며 생산 효율은 18% 증가할 것입니다.

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