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TEL 저온식각이 왜 혁명이냐면 (갑자기 초혁신 터졌다는 반도체업계 근황)
저온식각 일명 cryo etching은 201X년대부터 낸드 기술이 2D 한계에 봉착했을 때 꿈의 기술로 각광받았음그런데 일단 초저온 가스인 액화질소나 산소가 비싸고 공정 컨트롤의 난이도(극저온 칠러비용, 가스혼합비 등) 때문에 다들 개발에 성공하지 못했음그 와중에 TEL이 이번에 해당기술 개발에 성공해서 들고나온건데저온식각이 얼마나 쩌는지 알아보자식각 효율을 나타내는 숫자인 Etch Rate(줄여서 E/R)라는게 있음E/R = 식각 깊이(Å)/공정 시간(m)이라 얼마나 깊이 빠르게 식각을 쳐내느냐를 나타내는 E/R은 쓰루풋이 중요한 반도체 공정에서 중요한 숫자임왼쪽 파이차트: 일반 플라즈마 식각 가스 혼합비중간 파이차트: 연구단계의 저온식각 가스 혼합비 (1세대 저온식각)오른쪽 파이차트: TEL에서 완성한 저온식각 공정 장비 가스혼합비일반적인 식각보다 중간으로 가면 E/R이 2배가 되는데TEL은 중간과정보다 E/R 2배의 개쩌는 공정을 개발해냄E/R이 4배라는 말은 이론적으로 일반 낸드식각 공정보다 최대 4배로 빠르게 같은 깊이를 식각할 수 있다 or 같은 시간에 4배 더 깊이 식각 할 수 있다는 의미실제로는 식각 속도는 기존 공정보다 두배 빠르고 식각 깊이를 25% 더 깊게 에칭할 수 있다 하더라TEL의 주장에 따르면 10um 에칭하는데 33분이 소요되었으며 84% 탄소발자국 감소효과가 있었다고 함통상적인 플라즈마 공정은 7-8um 에칭하는데 1시간 남짓 걸림그림으로 보자면낸드가 이렇게 생겼는데 채널이 더 깊고 빨리 파짐 -> 낸드 단수 높히는데 예전에는 플라즈마 써서 고단화에 애 먹었는데 고단화 비교적 난이도 내려갈 예정TEL 자료 10um 뚫은 인증 + 깨끗하게 뚫린 바닥 사진 + 기술 세부자료불화수소 메인이라 탄소가스 사용절감으로 인한 ESG 점수는 덤결국 쓰루풋 포함 생산성 방면에서 저온식각이 고단 낸드 적층시 플라즈마 식각 대비 우위를 점하고 있기 때문에 현재 낸드식각 주류인 플라즈마 식각장비가 메인인 램리서치나 어플라이드는 TEL에게 고적층 낸드로 갈수록 마켓쉐어 많이 내줄 수 밖에 없다고 생각함. 좀더 자세한 이야기는 이 분이 글 잘 써놨더라https://blog.naver.com/timesight/223163209160 극저온 식각(Etching)의 도입 : NAND 식각 시장에서 가져올 큰 변화극저온 식각 장비의 개발 도쿄일렉트론은 23.06.09에 극저온 식각 장비를 공식적으로 발표하였습니다. &quo...blog.naver.com
작성자 : 방자_올돌골고정닉
인류 역사상 최고의 문학재능 TOP 15..JPG
15위 <스티븐 킹> 공포 소설의 거장으로 손꼽힌다. 그의 작품은 전 세계에서 인정받으며, 대다수의 작품들이 영화나 텔레비전으로 만들어져서 성공을 거두었다 대표작 : 캐리,쇼생크탈출 14위 <단테 알리기에리> 이탈리아 역사상 가장 위대한 작가이자 서양사에 한 획을 그은 이탈리아의 대표적인 위인이다. 당대에는 정치가로도 명망이 있었다. 대표작 : 신곡 13위 <헨리크 입센> 근대 시민극 및 현대의 현실주의극을 세우는 데 공헌하였다. 따라서 그를 "현대극의 아버지"라고 부르기도 한다. 대표작 : 인형의집 12위 <요한 볼프강 폰 괴테> 근현대 독일의 가장 위대한 문인이자, 같은 문인들에게는 문학의 신화로 여겨진다. 살아있을 당시는 물론 현대에까지 독문학을 넘어 서양 문학을 논할 때 절대 빼놓을 수 없는 인물이다. 대표작 : 파우스트,마왕 11위 <한스 크리스티안 안데르센> 19세기 창작 아동문학의 기틀을 잡은 것으로 평가받는다. 동화작가로 유명하긴 하나 여행기, 희곡, 소설, 시를 주로 썼다. 대표작 : 인어공주,미운오리새끼 10위 <가스통 르루> 프랑스의 저널리스트이자 추리 소설 작가이다. 소설가가 되기 전 1894년부터 1906년까지 프랑스 일간지 <르 마탱>의 특파원으로 러시아, 아시아, 아프리카를 누비며 현장기사를 많이 썼다. 대표작 : 오페라의 유령 9위 <알프래드 베스터> 간결한 플롯 구성능력, 만화와 같은 극적인 구성과 슈퍼 히어로적인 캐릭터성, 생생하고 예리한 시각적 묘사와 자유분방한 상상력이 어우러진 베스터 특유의 스타일은 '불꽃놀이'라 불리웠고, 그의 작품들은 사이버펑크의 효시라고 평가받는다. 대표작 : 파괴된 사나이,타이거! 타이거! 8위 <안네 프랑크> 전쟁 당시 유대인의 일상을 담아낸 암울했던 홀로코스트 시대를 대표하는 상징적인 인물로 평가 받고 있다. 그녀의 대표작 《안네의 일기》는 전 세계적으로 많은 사람들이 읽는 고전이 되었고, 역사적인 기록물로 인정 받아 세계기록유산에 등재되었다. 대표작 : 안네의 일기 7위 <아베 코보> 아사히 선정 지난 1천년간 일본 최고의 문인. 서구인들이 생각하던 일본 문학은 사무라이나 벚꽃이 등장하는 서정적이고 고전적인 것이었으나, 아베 코보는 의사를 지망했던 경력을 살려 SF적이고 현대를 배경으로 삼는 소설을 주로 썼다. 대표작 : 타인의 얼굴,모래의 여자 6위 <미겔 데 세르반테스> 스페인의 소설가, 시인, 극작가이다. 많은 사람들에게서 첫 근대 소설이라고 평가받는 《돈 키호테》의 작가로 유명하다. 대표작 : 돈 키호테 5위 <아이소포스> 그 유명한 이솝 우화의 저자이다 기원전 6세기 사람으로 그리스의 폴리스 중 사모스의 시민이었던 이아드몬의 노예 출신이라고 한다. 대표작 : 이솝 우화 4위 <루이스 캐럴> 영국 빅토리아 여왕 시대의 수학자이자 소설가, 사진가, 이상한 나라의 앨리스 저자로 널리 알려져 있으며, 초창기 사진 역사의 주요한 작가이기도 하다. 대표작 : 이상한 나라의 앨리스 3위 <윌리엄 셰익스피어> 당대 여타 작가와 다르게 대학 교육을 받지 못하였음에도 자연 그 자체에서 깊은 생각과 뛰어난 지식을 모은 그는 많은 문인들에게 선구자로서 막대한 영향력을 미쳤으며, 그가 문학에 집어넣은 화소들은 근현대 문학과 철학에서 신화와 같은 수준으로 차용되고 있다 . 대표작 : 햄릿,로미오와 줄리엣,템페스트 2위 <메리 셸리> 18세때 프랑켄슈타인을 집필하고 세계 최초의 SF 소설가가 된다. 대표작 : 프랑켄슈타인 1위 <호메로스> 세계 문화에 어마어마한 영향을 준 위대한 시인. 그의 대서사시들은 서양 문명의 근원이며 문학은 물론, 철학, 교육, 그림, 음악, 언어, 정치 등 수많은 학문과 예술에 막대한 영향을 끼쳤다. 대표작 : 일리아스,오디세이아 - dc official App
작성자 : 이시라고정닉
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